三維光學(xué)輪廓儀/白光干涉儀

ContourX-200

ContourX-200 光學(xué)輪廓儀具有強(qiáng)大的表征能力，支持可選定制配件，使用方便，是一款測量準(zhǔn)確、可重復(fù)性高的非接觸式光學(xué)三維表面計(jì)量系統(tǒng)。設(shè)備設(shè)計(jì)簡約，占用空間小，配置了大視場的5百萬像素?cái)z像頭和新型電動(dòng)XY載物臺(tái)，具有強(qiáng)大的二維/三維高分辨測量能力。

ContourX-200 擁有出色的 Z 軸分辨率和精確度，具備布魯克專有的白光干涉（WLI）技術(shù)廣受業(yè)界認(rèn)可的所有優(yōu)勢，而且不存在傳統(tǒng)共聚焦顯微鏡和同類普通光學(xué)輪廓儀的局限性。

更高性能的表面計(jì)量能力

?      與放大倍率無關(guān)的卓越Z軸分辨率

?      更大尺寸的標(biāo)準(zhǔn)視場

?      穩(wěn)定集成防震設(shè)計(jì)

 卓越的測量與分析功能

?      易于使用的界面，可快速準(zhǔn)確地獲得結(jié)果

?      自動(dòng)化功能，更適用于日常測量和分析

?      廣泛的濾鏡和分析工具選項(xiàng)，用于粗糙度和關(guān)鍵尺寸測量分析

?      滿足包括ISO 25178, ASME B46.1, ISO 4287等標(biāo)準(zhǔn)在內(nèi)的定制化分析報(bào)告

卓越的計(jì)量技術(shù)

基于超過 40 年的 WLI（白光干涉技術(shù)） 自主研發(fā)成果，ContourX-200 光學(xué)輪廓儀能夠滿足定量計(jì)量所需的低噪聲、高速、準(zhǔn)確度和精確度等需求。通過使用多種物鏡和特征圖案識(shí)別功能，設(shè)備可以在多種視野內(nèi)以亞納米垂直分辨率來跟蹤特征，從而提供不受放大倍數(shù)影響的結(jié)果，可用于各種不同行業(yè)中的質(zhì)量控制和過程監(jiān)控應(yīng)用。

穩(wěn)定性能和創(chuàng)新的硬件設(shè)計(jì)

ContourX-200 在反射率 0.05% 到 100% 的表面情況下都能發(fā)揮穩(wěn)定性能。創(chuàng)新的硬件設(shè)計(jì)環(huán)境，包括為獲取更大拼接而創(chuàng)新設(shè)計(jì)的工作臺(tái)，5百萬像素攝像頭，采用1200x1000 測量陣列，能夠?qū)崿F(xiàn)低噪聲、更大視場和更高橫向分辨率。

廣泛的應(yīng)用分析能力

全新的通用掃描干涉（USI）測量模式可提供全自動(dòng)、自感知表面紋理、優(yōu)化信號(hào)處理等功能，同時(shí)對(duì)所分析的表面形貌執(zhí)行準(zhǔn)確的計(jì)算。

系統(tǒng)的新型攝像頭提供了更大的視野，新型電動(dòng)XY平臺(tái)提供了更靈活定位能力，為各種樣品和零件提供了更大的適用性和更高的測試通量，使ContourX-200能夠在軟硬件上進(jìn)一步的有效結(jié)合，展現(xiàn)了卓越的光學(xué)性能和強(qiáng)大的計(jì)量分析能力。

先進(jìn)的操作和分析軟件

ContourX-200采用強(qiáng)大的 VisionXpress? 和 Vision64 分析軟件，具備更易于使用的界面和簡潔的功能，提供超過千種的定制分析參數(shù)，可訪問多種預(yù)編程濾鏡和分析工具，適用于精密加工的表面，如薄膜、半導(dǎo)體、眼科、醫(yī)療設(shè)備、MEMS和摩擦學(xué)等領(lǐng)域的測量分析，有效提升實(shí)驗(yàn)室或工廠的效率。

應(yīng)用案例

精密工程

保持精密工程零件的表面紋理和幾何尺寸在嚴(yán)格的規(guī)格限制內(nèi)，在監(jiān)控、跟蹤、評(píng)估過程以及評(píng)估GD&T合規(guī)性時(shí)，提供有效的反饋和報(bào)告。

MEMS和傳感器

適用于高通量、高度可重復(fù)的蝕刻深度、薄膜厚度、臺(tái)階高度和表面粗糙度的測量，以及MEMS和光學(xué)MEMS的臨界尺寸計(jì)量。光學(xué)輪廓儀可以在從晶圓到測試的整個(gè)制造過程中，甚至通過透明封裝來表征器件的特性。

骨科/眼科

在整個(gè)產(chǎn)品的生命周期內(nèi)，對(duì)植入物的材料和部件進(jìn)行精確、可重復(fù)的測量。布魯克的WLI（白光干涉）光學(xué)輪廓儀能夠?yàn)檠邪l(fā)、QA和QC分析提供支持，應(yīng)用范圍涵蓋鏡片和注塑模具的表面參數(shù)表征、醫(yī)療設(shè)備的表面光潔度驗(yàn)證和磨損情況檢測等。

摩擦學(xué)

測量、分析和控制摩擦、磨損、潤滑和腐蝕對(duì)材料/部件性能和壽命的影響。可制定定量磨損參數(shù)，并對(duì)檢測范圍內(nèi)的光亮、光滑或粗糙表面進(jìn)行快速的合格/不合格檢查。

半導(dǎo)體

ContourX-200是一款自動(dòng)化的非接觸式晶圓級(jí)計(jì)量系統(tǒng)，可用于提高半導(dǎo)體在前端和后端制造過程的產(chǎn)量并降低成本，執(zhí)行CMP后的模具平面度檢查，凸起高度、共面性和缺陷的識(shí)別與分析，測量構(gòu)件結(jié)構(gòu)的關(guān)鍵尺寸等。

光學(xué)   

通過精確且可重復(fù)的亞納米粗糙度測量，能夠更好地了解缺陷形成的根本原因，并優(yōu)化拋光和精加工工藝。ContourX系列的非接觸式光學(xué)輪廓儀能夠滿足越來越嚴(yán)格的規(guī)范和ISO標(biāo)準(zhǔn)，適用于從小型非球面和自由曲面光學(xué)器件到復(fù)雜幾何形狀的光學(xué)元件，再到衍射光柵和微透鏡等。