隨著太陽能電池工業的快速發展，多種光伏技術涌現市場。Bruker的探針式表面輪廓儀Dektak XT可為太陽能電池領域研究的科學家提供快速多種檢測方案，Dektak XT探針式表面輪廓儀通過定性、定量或檢測多道加工步驟，幫助太陽能電池制造商提能、降低成本，加速太陽能電池的商業化。

1. Dektak XT測試太陽能電池薄膜厚度
    理想的太陽能電池薄膜厚度是制造出太陽能電池的基本條件。透明薄膜還是不透明薄膜，只要構建出基底與薄膜的邊界，Dektak XT均能在幾秒之內快速準確的完成薄膜厚度的測試。

圖1 太陽能電池厚度測試

2. Dektak XT表征太陽能電池的表面粗糙度

   粗糙度是評價太陽電電池能效的重要指標之一，太陽能電池表面太光滑影響光照的吸收，太粗糙大量的散射同樣會影響光的吸收，因此，需要對太陽能電池表面粗糙度進行監測。探針式表面輪廓儀亞納米級別的分辨率能夠快速檢測太陽能電池二維及三維表面的粗糙度。

圖2 太陽能電池表面二維粗糙度

圖3 太陽能電池表面三維粗糙度

3. Dektak XT檢測太陽能電池表面軌跡及柵線寬度

   為合適的面板及小面積無光伏材料覆蓋，監控銀線質量及傳導軌跡。Dektak XT憑借強大的軟件分割功能，可自動計算出柵線的深度、寬度、體積、底面與基底的粗糙度，對比數據庫，可快速篩選不合格產品。同時幫助快速得到柵線正確的位置、寬度、深度，從而減少油墨等昂貴材料的浪費，降低成本。

圖4 太陽能電池柵線的多種分析

4. Dektak XT優化與控制太陽能電池的生產過程

    Dektak XT用于控制和太陽能電池的制造過程。Dektak XT憑借其200mm的掃描長度，能夠快速掃描得出8寸晶圓基底各位置的高度，軟件自動快速計算刻蝕與沉積的速率，得到理想的薄膜厚度、表面均勻性及加工次數。

圖5 8寸晶圓表面各位置高度

結論：

Dektak XT能夠快速的表征太陽能電池表面信息，幫助得到高能、低成本的太陽能電池產品。其主要優勢有：

1. 對薄膜材質沒有要求，透明、不透明均可，不需制樣；

2. 亞納米級別的縱向分辨率1Å；

3. 軟件分析功能；

4. 200mm超長的掃描長度；

5. 業內的臺階重復性，4Å。